장비 정보

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기기명 (한글) 전계방사전자주사현미경
기기명 (영문) Field emission scanning electron microscopes (FE-SEM)
모델명 JSM-IT500HR
제작사 JEOL
도입시기 2021년 2월
설치장소 세종센터 / C005
담당자 황은빈 (c4393201@g.hongik.ac.kr)
규격 - FE-Source : In-lens schottky FEG
- mage resolution : 1.5nm@30kV , 4.0nm@1.0kV
3.0nm@15kV, Probe current 1nA
- Observation mode : High Vacuum & Low Vacuum
- Image type
- HV mode : SE image & BSE image
- LV mode : BSE image
- Guide mode : OM image (Auto mode change between SEM image)
- Accelerating voltage : Max. 30kV
- Probe current : Max. 20nA
- LV pressure : 10 to 150pa
- OL Aperture : Multi hole exchange type

사용료

장비명 단위 내부 외부
일반(시간당) 시간(분)당 30,000 50,000
EDS(시간당) 시간(분)당 40,000 60,000
Coating(시간당) 시료(건)당 5,000 10,000

사용료 안내

  • - FE-Source : In-lens schottky FEG
  • - mage resolution : 1.5nm@30kV , 4.0nm@1.0kV
  • 3.0nm@15kV, Probe current 1nA