보유 장비정보를 안내해드립니다
| 기기명 (한글) | 전계방사전자주사현미경 |
|---|---|
| 기기명 (영문) | Field emission scanning electron microscopes (FE-SEM) |
| 모델명 | JSM-IT500HR |
| 제작사 | JEOL |
| 도입시기 | 2021년 2월 |
| 설치장소 | 세종센터 / C005 |
| 담당자 | 황은빈 (c4393201@g.hongik.ac.kr) |
| 규격 |
- FE-Source : In-lens schottky FEG
- mage resolution : 1.5nm@30kV , 4.0nm@1.0kV 3.0nm@15kV, Probe current 1nA - Observation mode : High Vacuum & Low Vacuum - Image type - HV mode : SE image & BSE image - LV mode : BSE image - Guide mode : OM image (Auto mode change between SEM image) - Accelerating voltage : Max. 30kV - Probe current : Max. 20nA - LV pressure : 10 to 150pa - OL Aperture : Multi hole exchange type |
| 장비명 | 단위 | 내부 | 외부 |
|---|---|---|---|
| 일반(시간당) | 시간(분)당 | 30,000 | 50,000 |
| EDS(시간당) | 시간(분)당 | 40,000 | 60,000 |
| Coating(시간당) | 시료(건)당 | 5,000 | 10,000 |